Amorphes pyrogenes Siliciumdioxid wird durch die Dampfphasenhydrolyse des Siliciumtetrachlorids in der Flamme von Wasserstoff und Sauerstoff produziert, im Ergebnis gibt es ein reines röntgenamorphes Siliciumdioxid (SiO2).
Die chemische Reaktion für diesen Prozess sieht wie folgt aus:
2H2 + O2 + SiCl4 → SiO2 + 4HCl
Die Siliciumdioxidpartikelmorphologie kann durch Änderungen der Flammenkonditionen modifiziert werden.

Durch die Veränderung der Konzentration der Arbeitsstoffe, Flammentemperatur und Verweilzeit des Siliciumdioxids in der Brennkammer ist es möglich, die Partikelgröße, Partikelgrößeverteilung, Oberfläche und Oberflächeneigenschaften des Siliciumdioxids ohne sichtbare Grenzen zu beeinflussen.